ポリシリコン

出典: くみこみックス

2009年3月13日 (金) 07:40; Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録) による版

ポリシリコン【Polycrystalline Silicon】

 LSIデバイスのゲート電極や配線の材料として用いる.シリコンが単結晶であるのに対して,ポリシリコンは多結晶である.電極や配線などには高濃度に不純物をドープしたポリシリコンを用い,配線シート抵抗値は10~30Ω/□である.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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