シート抵抗【Sheet Resistance】 半導体で用いる拡散抵抗は，深さ方向に沿って変化する．また，深さも明確に規定できない．したがって拡散抵抗単位には，マスク・パターン設計において2次元的に表現しやすいように，単位面積（縦，横が同じ正方形）あたりの面積抵抗率を用いる．これがシート抵抗で，単位はΩ/□である．
図 拡散抵抗モデルにおける抵抗率とシート抵抗
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
