シリコン・ゲート【Silicon Gate】 ゲート電極にポリシリコンを用いたものを，シリコン・ゲートMOSという．シリコン・ゲートは，微細化に向いたセルフ・アライン（自己整合）ゲート構造がとれるなど，プロセス的に有利な点が多い．現在のCMOSプロセスではシリコン・ゲート構造が主流である．これに対して，ゲート電極にAl（アルミニウム）を用いたものを，アルミ・ゲートMOSという． 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
