ポリシリコン
出典: くみこみックス
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【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | ||
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2009年3月13日 (金) 07:40の版
ポリシリコン【Polycrystalline Silicon】
LSIデバイスのゲート電極や配線の材料として用いる．シリコンが単結晶であるのに対して，ポリシリコンは多結晶である．電極や配線などには高濃度に不純物をドープしたポリシリコンを用い，配線シート抵抗値は10～30Ω/□である．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
