ポリシリコン

出典: くみこみックス

2009年3月13日 (金) 07:38の版 (ソースを表示) Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録) M (1 版) ←前の差分		最新版 (2009年3月13日 (金) 08:11) (ソースを表示) Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録)
（間の 2 版分が非表示です）
6 行		6 行
	<br>		<br>
	【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．		【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
-		+	<!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 -->
	<br>		<br>
	<br>		<br>
13 行		13 行
	* [[シート抵抗]]		* [[シート抵抗]]
-	[[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]	+	[[Category:組み込み技術全般|ホリシリコン]] [[Category:LSI|ホリシリコン]]

---

最新版

ポリシリコン【Polycrystalline Silicon】

　LSIデバイスのゲート電極や配線の材料として用いる．シリコンが単結晶であるのに対して，ポリシリコンは多結晶である．電極や配線などには高濃度に不純物をドープしたポリシリコンを用い，配線シート抵抗値は10～30Ω/□である．

【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．

関連項目

• シリコン・ゲート
• シート抵抗