比例縮小則

出典: くみこみックス

比例縮小則【Scale Down Law】

 半導体デバイス(とくにCMOS)の微 細化構造において,主要パラメータ(デ バイス寸法,電圧,不純物濃度)などを 一定の係数で比例的に,あるいは反比例 的に縮小していく規則.電界強度を一定に保ち,短チャネル効果,ホット・キャリア効果などの影響を防止することができる.


表 MOSFETの比例縮小則(電界強度が一定のとき)
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【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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