ホット・キャリア

出典: くみこみックス

ホット・キャリア【Hot Carrier】

 MOSFET素子中では電界が非常に強くなり,電子エネルギが高くなる.この高エネルギ・ホット・キャリア状態の電子をホット・エレクトロンという.発生したホット・エレクトロンの一部はゲート酸化膜中に飛び込み,しきい値電圧,相互コンダクタンスを劣化させる.ホット・キャリアはPチャネル型MOSFETでも発生するが,Nチャネル型MOSFETのホット・エレクトロンより問題は小さい.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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