TCAD

出典: くみこみックス

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【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
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<!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 -->
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2009年3月13日 (金) 07:40の版

TCAD(Technology Computer Aided Design)

 半導体製造プロセスに関するデバイス・シミュレーション,プロセス・シミュレーション,装置シミュレーションなどからなる,プロセス/デバイス構造設計のためのシミュレーション用ツール群をいう.これに対して回路設計用のツール群をEDA(Electronic Design Automation),あるいはECAD(Electronic Computer Aided Design)と呼ぶ.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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