TCAD
出典: くみこみックス
TCAD（Technology Computer Aided Design）
半導体製造プロセスに関するデバイス・シミュレーション，プロセス・シミュレーション，装置シミュレーションなどからなる，プロセス/デバイス構造設計のためのシミュレーション用ツール群をいう．これに対して回路設計用のツール群をEDA（Electronic Design Automation），あるいはECAD（Electronic Computer Aided Design）と呼ぶ．
図 LSI設計におけるTCAD
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
