EBテスタ

出典: くみこみックス

2009年3月13日 (金) 07:50; Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録) による版

EBテスタ(Electron Beam Tester)

 EB(電子ビーム)テスタは,走査型電子顕微鏡,オシロスコープ,CADを総合的に組み合わせたテスト・システムである.LSI測定箇所への電子ビーム非接触プロービングにより,信号遅延に影響を与えず,微細なパターンの信号情報を得ることができる.レイアウト・データや論理回路のネットリストなどを参照して,所望の箇所を自動的にプローブする機能を備えている.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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