出典: くみこみックス
EBテスタ（Electron Beam Tester）
EB（電子ビーム）テスタは，走査型電子顕微鏡，オシロスコープ，CADを総合的に組み合わせたテスト・システムである．LSI測定箇所への電子ビーム非接触プロービングにより，信号遅延に影響を与えず，微細なパターンの信号情報を得ることができる．レイアウト・データや論理回路のネットリストなどを参照して，所望の箇所を自動的にプローブする機能を備えている．
図 EBテスタを用いた不良解析システム
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
