EBテスタ

出典: くみこみックス

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 EB(電子ビーム)テスタは,走査型電子顕微鏡,オシロスコープ,CADを総合的に組み合わせたテスト・システムである.LSI測定箇所への電子ビーム非接触プロービングにより,信号遅延に影響を与えず,微細なパターンの信号情報を得ることができる.レイアウト・データや論理回路のネットリストなどを参照して,所望の箇所を自動的にプローブする機能を備えている.
 EB(電子ビーム)テスタは,走査型電子顕微鏡,オシロスコープ,CADを総合的に組み合わせたテスト・システムである.LSI測定箇所への電子ビーム非接触プロービングにより,信号遅延に影響を与えず,微細なパターンの信号情報を得ることができる.レイアウト・データや論理回路のネットリストなどを参照して,所望の箇所を自動的にプローブする機能を備えている.
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'''図 EBテスタを用いた不良解析システム'''
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【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
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<!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 -->
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最新版

EBテスタ(Electron Beam Tester)

 EB(電子ビーム)テスタは,走査型電子顕微鏡,オシロスコープ,CADを総合的に組み合わせたテスト・システムである.LSI測定箇所への電子ビーム非接触プロービングにより,信号遅延に影響を与えず,微細なパターンの信号情報を得ることができる.レイアウト・データや論理回路のネットリストなどを参照して,所望の箇所を自動的にプローブする機能を備えている.


画像:lsi_f96.gif

図 EBテスタを用いた不良解析システム



【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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