フォトリソグラフィ

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2009年3月13日 (金) 07:38の版

フォトリソグラフィ【Photolithography】

 本来は印刷業界の写真製版技術.LSI業界ではフォトエッチング工程などを指す.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.



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