フォトリソグラフィ【Photolithography】 本来は印刷業界の写真製版技術．LSI業界ではフォトエッチング工程などを指す．
図 フォトリソグラフィ（エッチング工程）
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
