トレンチ・キャパシタ

出典: くみこみックス

2009年3月13日 (金) 07:38; Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録) による版

トレンチ・キャパシタ【Trench Capacitor】

 DRAMメモリ・セルに用いるキャパシタ.シリコン基板中に溝を形成し,単位あたりのキャパシタ面積を大きくとれるように工夫した構造.4M~16Mビットの時代は,スタック・キャパシタとともに各社が採用していたが,64Mビット以降の超微細化構造では製造が困難であるため,DRAMメモリ・セルはスタックト・キャパシタ型が支配的になっている.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.



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