スタックト・キャパシタ【Stacked Capacitor】 DRAMメモリ・セルに用いるキャパシタ.キャパシタをシリコン基板上ではなく,積層導電膜(たとえばポリシリコン)間に絶縁薄膜を2重,3重にして形成し,単位あたりのキャパシタ面積を大きくとれるように工夫した構造.現在は,絶縁膜に誘電率の大きい誘電体材料を採用し,単位あたりの容量を大きくすることも試みられている. 【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.