デポジション

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最新版

デポジション【Deposition】

　シリコン・ウェハなどの半導体基板上に，薄膜を堆積（被着）する工程．酸化や窒化膜形成工程は，シリコンを侵食して形成するが，デポジションは，すべて外部材料が堆積したもの．

【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．

関連項目

• 酸化
• CVD