スタックト・キャパシタ

出典: くみこみックス

版間での差分
最新版 (2009年3月13日 (金) 07:50) (ソースを表示)
M (1 版)
 

最新版

スタックト・キャパシタ【Stacked Capacitor】

 DRAMメモリ・セルに用いるキャパシタ.キャパシタをシリコン基板上ではなく,積層導電膜(たとえばポリシリコン)間に絶縁薄膜を2重,3重にして形成し,単位あたりのキャパシタ面積を大きくとれるように工夫した構造.現在は,絶縁膜に誘電率の大きい誘電体材料を採用し,単位あたりの容量を大きくすることも試みられている.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

関連項目

表示