スタックト・キャパシタ

出典: くみこみックス

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【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
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<!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 -->
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2009年3月13日 (金) 07:40の版

スタックト・キャパシタ【Stacked Capacitor】

 DRAMメモリ・セルに用いるキャパシタ.キャパシタをシリコン基板上ではなく,積層導電膜(たとえばポリシリコン)間に絶縁薄膜を2重,3重にして形成し,単位あたりのキャパシタ面積を大きくとれるように工夫した構造.現在は,絶縁膜に誘電率の大きい誘電体材料を採用し,単位あたりの容量を大きくすることも試みられている.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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