シート抵抗

出典: くみこみックス

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最新版 (2009年3月16日 (月) 06:43) (ソースを表示)
 
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 半導体で用いる拡散抵抗は,深さ方向に沿って変化する.また,深さも明確に規定できない.したがって拡散抵抗単位には,マスク・パターン設計において2次元的に表現しやすいように,単位面積(縦,横が同じ正方形)あたりの面積抵抗率を用いる.これがシート抵抗で,単位はΩ/□である.
 半導体で用いる拡散抵抗は,深さ方向に沿って変化する.また,深さも明確に規定できない.したがって拡散抵抗単位には,マスク・パターン設計において2次元的に表現しやすいように,単位面積(縦,横が同じ正方形)あたりの面積抵抗率を用いる.これがシート抵抗で,単位はΩ/□である.
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'''図 拡散抵抗モデルにおける抵抗率とシート抵抗'''
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最新版

シート抵抗【Sheet Resistance】

 半導体で用いる拡散抵抗は,深さ方向に沿って変化する.また,深さも明確に規定できない.したがって拡散抵抗単位には,マスク・パターン設計において2次元的に表現しやすいように,単位面積(縦,横が同じ正方形)あたりの面積抵抗率を用いる.これがシート抵抗で,単位はΩ/□である.


画像:lsi_f27.gif

図 拡散抵抗モデルにおける抵抗率とシート抵抗



【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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