シート抵抗

出典: くみこみックス

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2009年3月13日 (金) 07:38の版

シート抵抗【Sheet Resistance】

 半導体で用いる拡散抵抗は,深さ方向に沿って変化する.また,深さも明確に規定できない.したがって拡散抵抗単位には,マスク・パターン設計において2次元的に表現しやすいように,単位面積(縦,横が同じ正方形)あたりの面積抵抗率を用いる.これがシート抵抗で,単位はΩ/□である.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.



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