エッチング

出典: くみこみックス

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2009年3月13日 (金) 07:38の版

エッチング【Etching】

 一般には,金属の腐食作用による版画製作のこと.半導体製造プロセスでは,化学薬品・プラズマなどによる酸化薄膜・レジスト膜,またはシリコン基板の不要部分を除去する工程.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.



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