出典: くみこみックス
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LDD(Lightly Doped Drain)
ドレイン,ソースの近傍に,より薄い不純物を重ねて拡散(2重拡散)させたMOSFETの構造.MOSFETのチャネル長が減少すると,ホット・キャリアが発生する.これにともなって起こるしきい値電圧変化,電源耐圧劣化などを防止する目的でLDDが用いられている.
図 LDD構造
【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
関連項目