デポジション【Deposition】 シリコン・ウェハなどの半導体基板上に，薄膜を堆積（被着）する工程．酸化や窒化膜形成工程は，シリコンを侵食して形成するが，デポジションは，すべて外部材料が堆積したもの． 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
