フォトエッチング

出典: くみこみックス

2009年3月13日 (金) 03:00; Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録) による版
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フォトエッチング【Photoetching】

 LSI製造工程で,フォトレジスト現像後,レジスト・パターンにより形成された酸化膜などのマスキングによって,シリコン,アルミ配線などを食刻して除去し,所望のパターンを形成すること.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.



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