フォトリソグラフィ

出典: くみこみックス

2009年3月16日 (月) 07:27; Worker (会話 | 投稿記録) による版
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フォトリソグラフィ【Photolithography】

　本来は印刷業界の写真製版技術．LSI業界ではフォトエッチング工程などを指す．


画像:lsi_f72.gif

図　フォトリソグラフィ（エッチング工程）



【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．

関連項目

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