フォトリソグラフィ

出典: くみこみックス

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最新版 (2009年3月16日 (月) 07:27) (ソースを表示)
 
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 本来は印刷業界の写真製版技術.LSI業界ではフォトエッチング工程などを指す.
 本来は印刷業界の写真製版技術.LSI業界ではフォトエッチング工程などを指す.
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最新版

フォトリソグラフィ【Photolithography】

 本来は印刷業界の写真製版技術.LSI業界ではフォトエッチング工程などを指す.


画像:lsi_f72.gif

図 フォトリソグラフィ(エッチング工程)



【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

関連項目

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