フォトリソグラフィ

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2009年3月13日 (金) 03:00の版

フォトリソグラフィ【Photolithography】

　本来は印刷業界の写真製版技術．LSI業界ではフォトエッチング工程などを指す．

【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．



関連項目

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