シリコン・ゲート

出典: くみこみックス

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2009年3月13日 (金) 03:00の版

シリコン・ゲート【Silicon Gate】

 ゲート電極にポリシリコンを用いたものを,シリコン・ゲートMOSという.シリコン・ゲートは,微細化に向いたセルフ・アライン(自己整合)ゲート構造がとれるなど,プロセス的に有利な点が多い.現在のCMOSプロセスではシリコン・ゲート構造が主流である.これに対して,ゲート電極にAl(アルミニウム)を用いたものを,アルミ・ゲートMOSという.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.



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