EBテスタ
出典: くみこみックス
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【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | ||
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2009年3月13日 (金) 07:40の版
EBテスタ（Electron Beam Tester）
EB（電子ビーム）テスタは，走査型電子顕微鏡，オシロスコープ，CADを総合的に組み合わせたテスト・システムである．LSI測定箇所への電子ビーム非接触プロービングにより，信号遅延に影響を与えず，微細なパターンの信号情報を得ることができる．レイアウト・データや論理回路のネットリストなどを参照して，所望の箇所を自動的にプローブする機能を備えている．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
