エッチング
出典: くみこみックス
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【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | ||
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2009年3月13日 (金) 07:40の版
エッチング【Etching】
一般には，金属の腐食作用による版画製作のこと．半導体製造プロセスでは，化学薬品・プラズマなどによる酸化薄膜・レジスト膜，またはシリコン基板の不要部分を除去する工程．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
