エッチング【Etching】 一般には，金属の腐食作用による版画製作のこと．半導体製造プロセスでは，化学薬品・プラズマなどによる酸化薄膜・レジスト膜，またはシリコン基板の不要部分を除去する工程． 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
