エッチング

出典: くみこみックス

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	【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．		【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
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最新版

エッチング【Etching】

　一般には，金属の腐食作用による版画製作のこと．半導体製造プロセスでは，化学薬品・プラズマなどによる酸化薄膜・レジスト膜，またはシリコン基板の不要部分を除去する工程．

【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．

関連項目

• ウエット・エッチング
• ドライ・エッチング