デポジション
出典: くみこみックス
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デポジション【Deposition】
シリコン・ウェハなどの半導体基板上に，薄膜を堆積（被着）する工程．酸化や窒化膜形成工程は，シリコンを侵食して形成するが，デポジションは，すべて外部材料が堆積したもの．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
