フォトエッチング

出典: くみこみックス

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【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
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<!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 -->
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最新版

フォトエッチング【Photoetching】

 LSI製造工程で,フォトレジスト現像後,レジスト・パターンにより形成された酸化膜などのマスキングによって,シリコン,アルミ配線などを食刻して除去し,所望のパターンを形成すること.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

関連項目

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