フォトエッチング
出典: くみこみックス
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【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | ||
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最新版
フォトエッチング【Photoetching】
LSI製造工程で，フォトレジスト現像後，レジスト・パターンにより形成された酸化膜などのマスキングによって，シリコン，アルミ配線などを食刻して除去し，所望のパターンを形成すること．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
