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出典: くみこみックス

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シート抵抗【Sheet Resistance】 <br> <br> 　半導体で用いる拡散抵抗は，深さ方向に沿って変化する．また，深さも明確に規定できない．したがって拡散抵抗単位には，マスク・パターン設計において2次元的に表現しやすいように，単位面積（縦，横が同じ正方形）あたりの面積抵抗率を用いる．これがシート抵抗で，単位はΩ/□である． <br> <br> <br> <center> [[画像:lsi_f27.gif]]<br> <br> '''図　拡散抵抗モデルにおける抵抗率とシート抵抗''' </center> <br> <br> 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． <!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 --> <br> <br> [[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]

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