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出典: くみこみックス

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EBテスタ（Electron Beam Tester） <br> <br> 　EB（電子ビーム）テスタは，走査型電子顕微鏡，オシロスコープ，CADを総合的に組み合わせたテスト・システムである．LSI測定箇所への電子ビーム非接触プロービングにより，信号遅延に影響を与えず，微細なパターンの信号情報を得ることができる．レイアウト・データや論理回路のネットリストなどを参照して，所望の箇所を自動的にプローブする機能を備えている． <br> <br> 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． <!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 --> <br> <br> [[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]

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