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フォトリソグラフィ
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フォトリソグラフィ【Photolithography】 <br> <br> 本来は印刷業界の写真製版技術.LSI業界ではフォトエッチング工程などを指す. <br> <br> 【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月. <!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 --> <br> <br> == 関連項目 == * [[フォトエッチング]] [[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]
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