TEOS

出典: くみこみックス

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M (1 版)

2009年3月13日 (金) 07:39の版

TEOS(Tetraethyl Orthosilicate)

 TEOSは室温でアルコール状の液体であるが,CVD(Chemical Vapor Deposition)法によって酸化膜を形成する.薄膜でもピン・ホールが少なく,膜品質がよいので,2層ポリシリコン間の絶縁膜などに使用される.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.



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