TEG

出典: くみこみックス

TEG(Test Element Group)

 プロセス・データ(不純物濃度,加工寸法精度,歩留まり推定など),およびSPICEなどのデバイス・パラメータを取得するためにLSIウェハ上に作成するテスト素子グループ.たとえばCMOS特性評価では,チャネル長とチャネル幅を可変にしたN,Pチャネル型MOSFETを使って,しきい値電圧,相互コンダクタンス依存性の関係などを測定する.また1段インバータ,多段インバータ列,リング発振回路などについて,電流,電圧,遅延特性などのCMOS回路基本特性を確認する.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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