TCAD

出典: くみこみックス

TCAD(Technology Computer Aided Design)

 半導体製造プロセスに関するデバイス・シミュレーション,プロセス・シミュレーション,装置シミュレーションなどからなる,プロセス/デバイス構造設計のためのシミュレーション用ツール群をいう.これに対して回路設計用のツール群をEDA(Electronic Design Automation),あるいはECAD(Electronic Computer Aided Design)と呼ぶ.


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図 LSI設計におけるTCAD



【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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