MEMS

出典: くみこみックス

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2009年3月13日 (金) 07:38の版

MEMS(Micro Electro-mechanical System)

 可動部分を有するマイクロ電気機械システム・デバイスの総称.マイクロマシンとも呼ぶ.半導体プロセスと同様の技術によって製造される.加速度センサ,圧力センサ,静電マイクロモータ,流体制御用マイクロバルブ,ミラー型ディスプレイ・デバイスなどがある.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.



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