LOCOS

出典: くみこみックス

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最新版 (2009年3月16日 (月) 07:52) (ソースを表示)
 
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 MOSFET素子分離のための,シリコン酸化膜などを用いた誘電体分離法の一つ.CMOS構造のP型トランジスタとN型トランジスタの境界などに設ける.
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'''図 LOCOS CMOSの断面図'''
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【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
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<!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 -->
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最新版

LOCOS(Local Oxidation of Silicon)

 MOSFET素子分離のための,シリコン酸化膜などを用いた誘電体分離法の一つ.CMOS構造のP型トランジスタとN型トランジスタの境界などに設ける.


画像:lsi_f105.gif

図 LOCOS CMOSの断面図



【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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