LOCOS

出典: くみこみックス

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2009年3月13日 (金) 07:38の版

LOCOS(Local Oxidation of Silicon)

 MOSFET素子分離のための,シリコン酸化膜などを用いた誘電体分離法の一つ.CMOS構造のP型トランジスタとN型トランジスタの境界などに設ける.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.



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