配線抵抗

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配線抵抗【Wiring Resistance】

 LSIの素子間を接続する金属配線の抵抗.微細化にともなって配線抵抗が大きくなり,配線容量とともに信号遅延を引き起こす原因となっている.  最近のLSIでは,回路素子の遅延よりも配線遅延のほうが大きくなっている.配線材料としては主にアルミが使われている.拡散やポリシリコンなどが使われている部分もある.大規模なLSIの場合,配線の引き回しが非常に長くなっており,アルミ配線よりも抵抗値の小さい銅配線が採用され始めている.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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