配線容量

出典: くみこみックス

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2009年3月16日 (月) 01:32の版

配線容量【Wiring Capacitance】

 LSIの素子間配線にともなう容量.配線間の容量,および配線と基板の間の容量の合計になる.これまでは配線長をもとに配線容量を見積もることが多かった.しかし,プロセス技術の微細化にともなって,配線幅や配線間隔に対する厚みの割合が増加し,配線側面の3次元的影響を無視できなくなってきた.そのため,精度よく配線容量を求めることがむずかしくなっている.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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