超音波ボンディング

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超音波ボンディング【Ultrasonic Bonding】

 ワイヤとして主にアルミ線を用い,超音波エネルギを加えてボンディングする方式.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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