蒸着

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蒸着【Evaporation】

　シリコン・ウェハなどの半導体基板上に，形成すべき膜材料を熱によって蒸発させて，堆積（付着）する方法．化学反応を用いないことから，物理的気相成長（PVD）とも呼ばれる．

【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．