蒸着

出典: くみこみックス

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2009年3月13日 (金) 07:50の版

蒸着【Evaporation】

 シリコン・ウェハなどの半導体基板上に,形成すべき膜材料を熱によって蒸発させて,堆積(付着)する方法.化学反応を用いないことから,物理的気相成長(PVD)とも呼ばれる.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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