窒化膜

出典: くみこみックス

2009年3月13日 (金) 07:50; Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録) による版

窒化膜【Silicon Nitride】

 選択酸化(LOCOS構造)のマスキング材料として,また保護膜(パッシベーション膜)として使用するSi3N4膜.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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